SEM掃描電鏡樣品在測試過程中應該怎么辦
日期:2024-10-15 11:58:53 瀏覽次數:44
在掃描電鏡測試過程中,樣品需要被妥善處理和放置,以確保測試的準確性和安全性。以下是對SEM掃描電鏡樣品在測試過程中應注意的事項的詳細歸納:
一、樣品制備
樣品尺寸:根據掃描電鏡設備的要求,樣品需要被切割或處理成適當的尺寸。粉體樣品僅需少量(如10mg),塊體樣品的長寬應小于1cm,厚度也應控制在一定范圍內(如小于1cm,但具體可調整)。液體樣品需要足夠的量(如不少于0.5ml),并且常規溶劑應為水或乙醇。如果樣品使用不揮發或有毒溶劑,應提前告知檢測單位。
樣品清潔:樣品表面應清潔無污染,無灰塵和雜質。這通常通過清洗步驟實現,如使用蒸餾水或去離子水清洗。
樣品干燥:樣品需要完全干燥,無水分或易揮發溶劑。干燥方法可以是自然干燥、加熱干燥或臨界點干燥等,具體取決于樣品的性質。
導電處理:對于導電性不好的樣品(如半導體金屬氧化物、生物樣品、塑料、陶瓷等),建議進行噴金處理,以提高導電性并避免電荷積聚。
二、樣品放置與調整
樣品固定:樣品應牢固地固定在SEM掃描電鏡的樣品臺上,確保在測試過程中不會移動或脫落。
樣品位置:如果只有一個待測樣品,可以直接在電腦上操作將樣品拖入中心區域。如果是多個樣品,則需要記住樣品所在位置的編號,并將對應編號的樣品放入電子槍正下方。
樣品高度:調整樣品的高度,使其上表面達到距電子槍既定的或理想的距離(一般約為10mm)。
三、測試環境設置
抽真空:在測試前,掃描電鏡設備需要進行抽真空處理,以確保電子束能夠穩定地轟擊樣品。
加速電壓:根據樣品的成分和觀察需求,設定合適的加速電壓。
光斑直徑:根據需要觀察的細節,選擇合適的“光斑直徑”(粗、中或細)。
自適應調整:勾選“自適應”按鈕以自動調整亮度和對比度。
四、測試操作
聚焦調整:先進行粗調聚焦,獲得較為清晰的圖像。在放大倍數大于所需拍攝倍數時,使用“聚焦微調”功能進行精細調整。
倍數調整:將倍數調整至所需拍攝倍數。
信號選擇:根據樣品特性和觀察需求選擇合適的信號(如二次電子、背散射電子等)。
圖像采集:選擇合適的采集幀數和平均點數后,進行拍照。
五、注意事項
避免污染:在測試過程中,要避免樣品受到污染或損傷。
參數調整:根據樣品的不同特性,可能需要對SEM掃描電鏡的參數進行適當的調整。
安全防護:操作人員應遵守掃描電鏡設備的安全操作規程,確保人身安全和設備安全。
綜上所述,SEM掃描電鏡樣品在測試過程中需要經過精心的制備、放置和調整,以及合理的測試環境設置和操作。這些步驟和注意事項共同確保了測試的準確性和安全性。
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